100级无尘烤箱CM-100T_晶圆PI胶固化

 

100级无尘烤箱CM-100T概述： 

晶圆PI胶固化烤箱CM-100T是参照 Federal Standard(FS)209E 无尘等级规格研发制造，广泛应用于电子液晶显示屏、LCD、CMOS、IC、实验室等生产及科研部门。采用平面水平送风，然后经过进口HEPA Filter装置 (特殊风道设计)送风，过滤效率可达99.99%，满足Class 100级无尘规格，排气口为3"φ(附自动启闭风门功能),以达到强烈循环的效果。

 

 

100级无尘烤箱CM-100T箱体结构：

·烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热器及风道系统部分组装而成，结构合理，外型美观大方

·全周氩弧焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电加热器，防止机台本身产生微尘

·箱体材料：SUS304#不锈钢板

·内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，

·并经碱性苏打水清洁，去油污以避免烘烤时产生微尘

·中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，

·并经碱性苏打水清洁，去油污及氩弧焊密封加工(防污染)

·保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造

·电热器：采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER)，为无尘化电热发生器

·洁净度：烤箱内部均采用无尘化配件及材料

 

 

CM-100T（100级无尘烤箱）规格：  

无尘等级        Class 100

温度范围        室温～+250℃

升温速度        常温～+200℃, 升温斜率程序可控

温度均匀度      ±1%；（空载）

温度度      ±1℃；（空载）

工作室尺寸      W600×H550×D500 mm

外形尺寸        W1100×H1700×D1220 mm

加热功率        14kw

层板            共2片

环境条件        温度 5～40℃；湿度 ≤85%R.H

电源            AC380v , 三相，50Hz

气压            86～106Kpa

使用条件        无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体

                箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用

 

 

了解更多：http://www.hapoin.com/oven/cm-100t.htm

 

 

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